Город:
Тел:+7(495)104-33-30
E-mail: zakaz.izpk@gmail.com
Тел:8(800)301-86-19
ВНП-350.01 | ВНП-350.02 | |
Внутренние размеры рабочей камеры, мм | 350х350х350 | 350х350х350 |
Остаточное давление в рабочей камере, Ра | 1,3х10-3 | 1,3х10-3 |
Время получения рабочего вакуума (5,6?10-3 Ра), мин, не более | 20 | 20 |
Количество магнетронов, шт. | 3 | |
Диаметр мишени, мм | 84 | |
Количество плазменно-дуговых испарителей, шт. | 2 | |
Ток дуги, А | 70 ... 150 | |
Напряжение подложки, В | 1500 | |
Потребляемая мощность, ВА, не более | 20 | |
Занимаемая прибором площадь, мм | 1800х2000 | |
Масса, кг | 800 |