Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050

Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050 представляет собой приставку к вакуумному универсальному посту ВУП-5М (ВУП-5). Приставка предназначена для осуществления операций, связанных с распылением и травлением материалов в вакууме ионным пучком с целью исследования полученных поверхностей и материалов (методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии и другими).

Область применения

Приставка может быть использована в лабораториях при исследованиях по физике твердого тела, микроэлектронике для получения новых материалов, а также применима при выполнении отдельных технологических операций.