Вакуумный прибор для напыления ВНП-350

Вакуумный прибор для напыления ВНП-350 предназначен для:

• напыление плазменно-дуговым способом позволяет наносить однослойные и многослойные покрытия из чистых металлов и их соединений на токопроводящие материалы;
• напыление магнетронным способом позволяет наносить покрытия на изделия из металла, керамики, фарфора, стекла, пластмассы.

Область применения

• микроэлектроника, электротехника: процессы металлизации;
• машиностроение: получение износо- и коррозионностойких покрытий на инструменте, деталях машин и т. п.;
• промышленность: нанесение декоративных покрытий на металлоизделия, изделия из фарфора, стекла;
• оптика: нанесение оптических покрытий;
• медицина: нанесение защитных покрытий на инструменты и зубные протезы.

Устройство и принцип действия

Вакуумные приборы для напыления ВНП-350.01, ВНП-350.02 обеспечивают управления процессом нанесения покрытий в ручном и автоматическом режимах.

Приборы ВНП-350.01, ВНП-350.02 состоят из:

• стойки вакуумной;
• стойки управления;
• стойки питания.

Приборы позволяют наносить покрытия на изделия, максимальные размеры которых d=250mm, h=150mm. Откачка рабочего объема производится паромасляным насосом dy 160 (возможно подключение турбомолекулярного насоса).

Система газоподачи обеспечивает поддержание давления в камере на заданном уровне. Система питания магнетрона позволяет стабилизировать ток на заданном уровне.