Вакуумный пост ВН-3000 характеристики

Арт:

15318

Наличие:

Под заказ

Срок доставки:

от 3 до 10 дней

Производитель:

НПП «Академприбор»

Описание
Характеристики

Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме, не более, Па	2х10^-3
Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки, не менее, °C	300
Время нагрева до температуры 300 °С, не более, мин	30
Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки, об/мин	5-15
Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки), кВ	0-4
Максимальный ток пучка, мА	200
Максимальный ток блока питания накала катода, А	20
Мощность блока питания магнетрона RF, Вт	0-500
Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки), кВ	1,2
Ток блока питания магнетрона DC, мА	0-1000
Максимальный ток устройства ионного травления/очистки, мА	100
Установка обеспечивает откачку рабочего объема от атмосферного давления, Па	6х10-3
Время откачки рабочего давления, мин	45
Индикация давления в рабочем объеме, Па	от 1,0х10^5 до 1,0х10^-4
Диаметр мишени, мм	42-104
Габариты стойки аналитической, мм	900х610х1620
Габариты стойки электрической, мм	600х600х2160
Масса, кг	420