Вакуумный пост ВН-3000 характеристики

  • Вакуумный пост ВН-3000 фото №1
Средняя: 4 (1 оценка)
Арт: 
15318
Наличие: 
Под заказ
Срок доставки: 
от 3 до 10 дней
Производитель: 
НПП «Академприбор»
zakaz.izpk@gmail.com
Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме, не более, Па 2х10^-3
Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки, не менее, °C 300
Время нагрева до температуры 300 °С, не более, мин 30
Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки, об/мин 5-15
Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки), кВ 0-4
Максимальный ток пучка, мА 200
Максимальный ток блока питания накала катода, А 20
Мощность блока питания магнетрона RF, Вт 0-500
Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки), кВ 1,2
Ток блока питания магнетрона DC, мА 0-1000
Максимальный ток устройства ионного травления/очистки, мА 100
Установка обеспечивает откачку рабочего объема от атмосферного давления, Па 6х10-3
Время откачки рабочего давления, мин 45
Индикация давления в рабочем объеме, Па от 1,0х10^5 до 1,0х10^-4
Диаметр мишени, мм 42-104
Габариты стойки аналитической, мм 900х610х1620
Габариты стойки электрической, мм 600х600х2160
Масса, кг 420