Вакуумный пост ВН-3000

Голосов пока нет
Арт: 
15318
Наличие: 
Под заказ
Срок доставки: 
1 - 10 дней
Производитель: 

Вакуумный пост ВН-3000 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью магнетрона RF и DC, электронно-лучевого испарителя, термического испарения и ионного травления.

Область применения

Приборы электронной техники, материаловедения, микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных технологических операций по напылению.

Конструктивные особенности

Установка выполнена в виде двух стоек – электрической и аналитической. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными жгутами.

В электрической стойке расположены: - блок распределительный;

  • блок питания высоковольтный;
  • блок питания магнетрона RF;
  • блок питания магнетрона DC;
  • блок управления;
  • блок питания турбомолекулярного насоса; - ноутбук.

В аналитической стойке расположены:

  • вакуумная система;
  • рабочий объем;
  • внутри камерная оснастка;
  • турбомолекулярный насос;
  • система напуска газа в рабочий объем;
  • система водяного охлаждения насоса, магнетрона, ЭЛИ.

Вакуумная система работает в автоматическом режиме и позволяет получить вакуум в закрытом рабочем объеме без вмешательства оператора.

В рабочий объем устанавливаются следующие устройства:

  • механизм поворота;
  • осветитель;
  • устройство ионного травления/очистки (анод);
  • устройство осаждения и нагрева;
  • электронно-лучевой испаритель;
  • магнетрон RF (максимальное количество магнетронов – до 6 шт).

Возможно доукомплектование установки кварцевым измерителем толщины КИТ.

Все вопросы и ответы
Задать свой вопрос
CAPTCHA
Этот вопрос задается для того, чтобы выяснить, являетесь ли Вы человеком или представляете из себя автоматическую спам-рассылку.
1 + 1 =
Solve this simple math problem and enter the result. E.g. for 1+3, enter 4.

Вакуумный пост ВН-3000 будет доставлен в Белгород через 1 - 10 дней. Стоимость от 0 рублей (самовывоз)

  • курьерская доставка в Белгород: +1 день;
  • отгрузка складских позиций в течении 1 дня после оплаты.