Город:
Тел:+7(495)104-33-30
E-mail: zakaz.izpk@gmail.com
Тел:8(800)301-86-19
Установка обеспечивает предельное остаточное давление, Па | 5х10^-4 |
Нагреватель в устройстве напыления обеспечивает температуру, не менее, °C | 300 |
Время нагрева, не более, мин | 30 |
Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя (без нагрузки), кВ | 0,5-4 |
Предельное отклонение верхнего значения, кВ | 0,3 |
Напряжение блока питания магнетрона постоянного тока (без нагрузки), не более, кВ | 1 |
Максимальный ток блока питания магнетрона постоянного тока, мА | 300 |
Максимальный ионный ток устройства ионного травления, мА | 100 |
Установка обеспечивает откачку рабочей камеры с атмосферного давления до давления 2х10^-3 Па за время, не более, мин | 15 |
Ток пучка электронного испарителя, мА | 0-200 |
Ток накала электронно-лучевого испарителя, А | 2-10 |
Ток источника резистивного испарителя 1, А | 5-200 |
Ток источника резистивного испарителя 2, А | 3-50 |
Габариты стойки аналитической, мм | 470х540х1600 |
Габариты стойки электрической, мм | 610х630х1670 |
Масса установки, кг | 350 |