Город:
Тел:+7(495)104-33-30
E-mail: info@izpk.ru
Тел:8(800)301-86-19
| Разрешение в режиме высокого вакуума (ВЭ), нм | 4 |
| Разрешение в режиме низкого вакуума (ОЭ), нм | 6 |
| Максимальный размер изображения, пикс | 1280×960 |
| Диапазон регулирования давления в камере, Па | 1 - 270 |
| Диапазон ускоряющих напряжений, кВ | 0,5 - 30 |
| Диапазон регулирования увеличений, х | 15 - 300000 |
| Максимальный размер объекта, мм | 50 |
| Диапазон перемещений объекта: | |
| по координатам X, Y, мм | ±25 |
| по координате Z, мм | 50 |
| наклон,° | -20 до 60 |
| поворот, ° | 360 |
| Время смены образца, мин | 5 |
| Диапазон измерений линейных размеров, µm | 0,2 - 5000 |
| Пределы допускаемой основной погрешности измерений линейных размеров, не более: | |
| в диапазоне от 0,2 µm до 0,8 µm, нм | ±40 |
| в диапазоне свыше 0,8 µm до 5000 µm, % | ±4 |
| Диапазон анализируемых элементов: | |
| в режиме высокого вакуума | 5B - 92U |
| в режиме низкого вакуума | 12Mg - 92U |
| Разрешение ЭДС, eV | 139 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элемента в диапазоне от 6С до 92U | |
| в составе массивных образцов, не более: | |
| для элементов с диапазоном массовой доли свыше 10 %, % | ±4 |
| для элементов с диапазоном массовой доли свыше 1 % до 10 %, % | ±20 |
| для элементов с диапазоном массовой доли от 0,1 % до 1 %, % | ±50 |
| Напряжение питания (1 фаза), В | 220 |
| частота, ГЦ | 50/60 |
| Потребляемая мощность, кВА | 2,5 |
| Габаритные размеры (колонна со стендом), мм | 1050х2100х1850 |
| Масса, кг | 685 |