Растровый микроскоп РЭМ-106

Растровый микроскоп РЭМ-106 предназначен для исследований в материаловедении, нанотехнологиях, физике, химии, геологии, микроэлектронике, биологии, медицине и др. областях с гарантированными метрологическими параметрами измерений линейных размеров субмикронного диапазона и массовой доли элементов в составе исследуемых объектов.

Конструктивные особенности

• быстрое, с гарантированной точностью, измерение линейных размеров объектов;
• определение элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа с гарантированной точностью;
• высокое качество электронно-оптических изображений поверхности проводящих и диэлектрических объектов без специального приготовления в режимах вторичных (ВЭ) и отраженных электронов (ОЭ);
• набор тестовых образцов для калибровки и поверки метрологических параметров, электронно-оптического увеличения, разрешающей способности в режиме ВЭ и ОЭ, калибровки и поверки системы микроанализа; набор эталонов для количественного микроанализа;
• конструкция вакуумной системы, обеспечивающая два рабочих режима в камере объектов: высоковакуумный (классический РЭМ) и низковакуумный регулируемый – для исследования диэлектрических объектов;
• электронно-оптическая система с повышенной защищенностью от внешних электромагнитных полей;
• высокая виброустойчивость;
• объективная линза с разделительными диафрагмами для дифференциальной откачки камеры объектов и электронной пушки;
• управление вакуумной, электронно-оптической, энерго-дисперсионной системами прибора и механизмом перемещения объектов, а также визуализацию и хранение изображений и результатов микроанализа обеспечивается персональным компьютером;
• документирование изображений и спектров высокоразрешающим принтером;
• отображение информации о состоянии прибора на дисплее компьютера.