Приведенная интенсивность и контрастность аналитических линий на контрольном образце при проведении анализа кристалл-дифракционными спектрометрами
Образец |
Элемент |
Спектр. линия |
Пор. отр. |
Кристалл-анализ. |
Ускор. напр., кВ |
Прив. интенс. имп/с×мА |
Контрастность |
C |
C |
Ka |
1 |
PbSt |
10 |
2.5 × 104 |
30 |
Al |
Al |
Ka |
1 |
RAP |
20 |
8 × 105 |
600 |
Ti |
Ti |
Ka |
1 |
PET |
30 |
2.8 × 106 |
600 |
Fe |
Fe |
Ka |
1 |
LiF |
30 |
8 × 105 |
300 |
SiO2 |
O |
Ka |
1 |
MIR-030 |
10 |
5.5 × 104 |
30 |
BN |
N |
Ka |
1 |
MIR-040 |
10 |
1.1 × 104 |
10 |
C |
C |
Ka |
1 |
MIR-060 |
10 |
4.2 × 105 |
40 |
B13C2 |
B |
Ka |
1 |
MIR-090 |
10 |
6.1 × 104 |
30 |
Be |
Be |
Ka |
1 |
MIR-090 |
10 |
1.0 × 104 |
30 |
- Разрешающая способность кристалл-дифракционного спектрометра на линии Cu Ka, не более 5,5 × 10-3
- Разрешающая способность системы энергодисперсионного рентгеновского микроанализа на линии Mn Ka, эВ, не более 143
- Диапазон анализируемых элементов спектрометром энергетической дисперсии от бора(5) до урана(92)
- Давление в колонне микроскопа, мПа, не более 1,33
- Время откачки микроскопа от атмосферного давления до давления 6,7мПа, мин., не более 30
- Время шлюзования объекта, мин, не более 5
Функциональные возможности и режимы работы ВКУ:
- развертка электронного зонда по большому и малому полям, с возможностью установки зонда в отмеченную маркером на изображении точку;
- вращение и электронное перемещение растра;
- деление экрана;
- отображение символьной информации об ускоряющем напряжении, увеличении, масштабной метке и ее длине, рабочем отрезке;
- электронная индикация линейных размеров объектов;
- обработка изображения дифференцированием, γ-коррекцией.
- Сохранение увеличения изображения: при изменении ускоряющего напряжения от 5 до 30 кВ; при изменении рабочего расстояния от 8 до 50 мм.
Универсальный механизм перемещения объектов обеспечивает:
- установку образца максимальным диаметром не менее 100 мм;
- перемещение образца по координатам X, Y на ± 50мм с шагом не более 0,5 мкм;
- перемещение по координате Z на 40 мм с шагом не более 2 мкм;
- вращение образца на 360o;
- наклон платформы от минус 20o до 48o;
- точность позиционирования по координатам X, Y ± 1 мкм.
- Требования к электропитанию: трехфазное напряжение (200 ± 22) В; частота питающей сети (50 ± 1) Гц;
- Потребляемая мощность, кВА, не более 3,5
- Габаритные размеры, мм, не более: каркас с колонной и вакуумной системой 970×770×1735; устройство видеоконтрольное 800×1400×780; блок питания 500×560×750; система откачки (форнасос) 555×170×290
- Общая масса микроскопа, кг, не более 1300
Параметры систем для эксплуатации микроскопа:
- индивидуальный контур заземления с сопротивлением, Ом, не более 4;
- расход воды, л/мин, 3,5; давление воды в сети, кг/см2, 3-5
- температура воды, oС 20 ± 5
- число штуцеров для подвода воды 2
- число штуцеров для слива воды 2
- число штуцеров для выхлопа воздуха с форнасосов 2
Требования к помещению для установки микроскопа:
- площадь помещения, м2, не менее 20
- температура воздуха в помещении, °С, 20 ± 5
- относительная влажность, %, 50 - 80
- уровень электромагнитного поля в диапазоне частот 50-400 Гц на расстоянии 5 см от колонны, мкТ, не более 0,3
- уровень вибраций пола в диапазоне частот 5-20 Гц, мкм, не более 5
- ширина входной двери, мм, не менее 1200