Система напуска газов ИНЖЕКТ

Система напуска газов ИНЖЕКТ предназначена для дистанционного управления напуском газов в ионно-вакуумных установках.

При работе с различными ионно-вакуумными установками возникает необходимость дозированного напуска газов в рабочие камеры. Один из наиболее простых и надежных приборов, служащих для этих целей - двухканальная система напуска ИНЖЕКТ.

В устройствах, имеющих обратную связь, она позволяет:

• автоматически поддерживать заданное давление;
• выбирать полярность сигнала обратной связи и сдвигать его фазу на 180o;
• изменять постоянную времени усилителя обратной связи.

Для отпирания клапана в системе применено пьезострикционное устройство, обеспечивающее дистанционное управление натекателем, работу в режимах "да" и "нет" и модуляцию газового потока.

Наличие двух клапанов дает возможность осуществлять как поочередный, так одновременный напуск двух газов.

Дозирующая пара натекателя: нержавеющая сталь - медь безкислородная.