Приставка магнетронного распыления ПМР-3 служит для модернизации более старой модели ВУП-5.
Функциональные возможности
Магнитораспыляющая система обеспечивает:
- универсальность процесса, что позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
- высокую скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
- сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
- получение особо чистых пленок;
- высокую адгезию пленок и подложки;
- возможность изменения структуры и свойств пленок;
- распыление нескольких материалов без разгерметизации объема;
- низкую пористость пленок даже при малых толщинах;
- небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру;
- высокую энергетическую эффективность процесса;
- использование для осаждения и травления широкого класса материалов.
В состав приставки магнетронного распыления ВН 2000 входит:
- магнетрон, диаметр мишени 80мм, устанавливается на фланце, в верхней части рабочего колпака;
- блок питания (1 А, 900 В), устанавливается сверху пульта вакуумного универсального поста.