Источник питания МВ-05

Источник питания МВ-05 представляет собой генератор высокой частоты и предназначен для расширения функциональных возможностей прибора ВУП-5М при исследованиях в области физики, химии, микроэлектроники.

Условия эксплуатации

Источник питания предназначен для эксплуатации в стационарных лабораторных условиях при температуре окружающего воздуха от 15 до 25°С и относительной влажности не более 80%.

Устройство относится к исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150-69.

Конструктивные особенности

Источник питания МВ-05 состоит из блока высокочастотного (ВЧ) генератора, устройства согласования и соединительных кабелей.

При эксплуатации, источник питания подключается к штатному магнетрону из комплекта поставки прибора ВУП-5М. При этом питание магнетрона производится током высокой частоты, что позволяет получать высококачественные пленки не только металлов, сплавов и полупроводников, но также пленки диэлектриков путем распыления мишеней из диэлектрических материалов.

Блок ВЧ генератора предназначен для получения высокочастотной электромагнитной энергии заданной мощности и управления режимом напыления, конструктивно выполнен в настольном варианте.

Устройство согласования предназначено для трансформации комплексного входного сопротивления магнетрона в активное сопротивление 50 Ом, что обеспечивает оптимальный режим работы ВЧ генератора. Блок ВЧ генератора имеет заземляющую клемму для соединения с внешним заземляющим контуром.

Максимальная выходная мощность на выходе при активной нагрузке 50 Ом, не менее, Вт 500
Диапазон регулировки и индикации выходной мощности, Вт 0-500
Погрешность регулировки, не более, % 20
Рабочая частота, МГц 13,56
Электрическое питание системы осуществляется от сети переменного тока, В 220
Потребляемая мощность, не более, кВ А 1,5
Габаритные размеры, мм 450х310х450
Масса, кг 40